「每年開發一項新產品,而且是世界第一次的。」
這句話不是廣告詞,是一家日本公司的經營理念。
更誇張的是,它真的做到過三次:1976 年、2017 年、2019 年,三台「世界第一台」的機器,全出自橫濱這家叫 Lasertec(レーザーテック)的公司。
它不做晶片,也不做曝光機。它只做一件事:檢查晶片的底片有沒有瑕疵。
先說它是誰
Lasertec,東證代號 6920,總部在橫濱新橫濱,日經 225 成分股。
2026 年 9 月 24 日收盤,市值 3 兆 7,507 億日圓。
截至 2026 年 6 月的年度,營收 2,305 億日圓,營業利益 1,053 億,營業利益率 45.7%。也就是每賣 100 元,本業淨賺將近 46 元。
老實說,第一次看到這個數字,我以為是軟體公司。
「底片」是什麼
晶片是「印」出來的。
先把電路圖做成一片叫光罩的玻璃板,再用光把圖案一層層投影到矽晶圓上。光罩就像照片的底片:底片上有一粒灰,洗出來的每一張照片都會有同一個黑點。
問題是,最先進的 EUV 曝光機用的光,波長只有 13.5 奈米。在這個尺度,光罩上的一個小缺陷,就會被複製到每一片晶圓上。
所以光罩出廠前、上機前,都得仔細驗貨。
用曝光機的眼睛去看
2019 年,Lasertec 推出 ACTIS A150,官方稱是世界第一台「同波長」EUV 圖形光罩缺陷檢查裝置。
「同波長」的意思是:檢查時用的光,和曝光機用的一樣是 13.5 奈米。換句話說,它看到的缺陷,就是曝光時真的會印出來的缺陷。
在這之前,2017 年它已經做出世界第一台用 EUV 光檢查空白光罩(還沒畫上電路的玻璃基板)的 ABICS E120。
從代工廠開始
這家公司的起點,跟半導體一點關係都沒有。
1960 年,它叫「東京 ITV 研究所」,是松下通信工業的協力廠,幫忙設計醫療用 X 光電視攝影機。ITV 是「工業用電視」的縮寫。
1975 年,它跨進半導體,隔年做出世界第一台 LSI 光罩缺陷檢查裝置「1MD1」。
1980 年,代工業務歸零,產品百分之百是自己的品牌;1986 年,才改成今天的名字。
二十三年,營收翻了將近四十倍
2002 年 6 月期,Lasertec 營收只有 65 億日圓。
2025 年 6 月期,營收 2,515 億日圓,創下歷史新高。
中間的轉折,就是 EUV:晶片廠開始用 EUV 量產之後,要驗的光罩變多、變難,而能用同波長去驗的,市場上只有它。
公司說自己約七成員工是工程師,營收的 5% 到 10% 拿去做研發;製造則大量外包,這套做法它叫「Fab-lite」。
不過,營收最高的那一年,接單卻掉到谷底,隔年營收也跟著退了 8%。
一邊是營收下滑,一邊是訂單翻倍;中間還夾著一份質疑它做假帳的空頭報告。這筆帳,下一篇拆。
它最大的客戶是台積電,在新竹也有一家子公司,卻不負責賣機器。
如果讓你挑一個詞形容這家公司,你會選「壟斷」,還是「專注」?
讀者來信 FAQ
空白光罩、光罩、晶圓,三者到底是什麼關係?
編輯部: 空白光罩是一片表面極度平整、鍍好薄膜、但還沒有電路圖的玻璃基板;在上面畫出電路圖案,才叫光罩。曝光機再用光把光罩上的圖案縮小投影到矽晶圓上,一層一層疊出晶片,一片晶圓最後會切成許多顆晶片。EUV 用的光罩是反射式,基板上鍍了多層交替的薄膜,所以連「還沒畫圖的空白基板」本身都可能藏有缺陷。Lasertec 的 ABICS 負責檢查空白光罩,ACTIS 檢查畫好圖案的 EUV 光罩,另一條產品線 MATRICS 則用深紫外光檢查光罩。打個比方:空白光罩是畫布,光罩是畫好的原稿,晶圓是拿原稿去印出來的一大張海報。
「同波長」檢查為什麼比較準?用其他波長的光不行嗎?
編輯部: 用其他波長的光也能檢查 EUV 光罩,業界有用深紫外光(DUV)的機器,Lasertec 自家的 MATRICS 也是。差別在於,同一個缺陷在不同波長的光下「長得不一樣」:有些在深紫外光下看得到、曝光時卻不會印出來,有些則反過來。用和曝光機一樣的 13.5 奈米去看,看到的結果最接近晶片實際會印出來的樣子。一般也認為,EUV 光罩上用來擋灰塵的防護薄膜是為了讓 EUV 光穿過而設計的,換成其他波長不一定看得穿,所以同波長檢查可以隔著薄膜直接驗。打個比方:要檢查一張只在紫外燈下才看得到的防偽印記,最準的方法就是拿同一盞紫外燈來照。
「Fab-lite」是什麼?製造都外包,品質要怎麼顧?
編輯部: Fab-lite 可以理解成「輕工廠」:研發、設計和關鍵技術留在自己手上,大量製造交給外部協力廠。Lasertec 官網說它約七成員工是工程師、營收的 5% 到 10% 投入研發;截至 2026 年 6 月的年度,設備投資只有 23.6 億日圓,大約是營收的 1%。品質的最後一關是在客戶工廠:機器送到後要組裝、試運轉、依客戶規格調整,客戶驗收簽字才算賣出。2024 年特別調查委員會盤點在製品時,盤點地點就包括國內的生產協力廠、物流據點和總公司。打個比方:像一家建築師事務所,設計圖自己畫,施工交給營造廠,但最後得由業主驗收點頭,房子才算交屋。